Η μηχανή αραίωσης γκοφρέτας καρβιδίου πυριτίου χρησιμοποιείται κυρίως για την αραίωση υλικών υποστρώματος όπως γκοφρέτα πυριτίου, αρσενίδιο γαλλίου, κεραμικά καρβιδίου πυριτίου, κεραμικά ζιρκονίας, γραφίτης, τανταλικό λίθιο και ούτω καθεξής.
Οι μηχανές κάθετης λείανσης πλακιδίων υψηλής ακρίβειας μπορούν να αλέσουν υλικά τρίτης γενιάς ημιαγωγών όπως SiC, GaN, GaAs, Si, ZnO. Η σειρά DL-GSD είναι μια αυτοδημιούργητη μηχανή λείανσης στην Κίνα και η απόδοσή της έχει φτάσει τα παγκόσμια πρότυπα.